针对功率MEMS器件而设计的高电感密度3D MEMS片内螺

来源:未知 作者:电费按变压器容量 时间:2020-07-10 16:46 点击量:

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电感器是电磁设备的最根基组件,也是电子设备的根基构成部门。微电感器如今普遍用于微传感器、微致动器、RF MEMS和功率MEMS中。诸如变压器、能量收集器和电磁电念头之类的功率MEMS器件每每需要电感器具有高电感,以实现功率密度,并具有高质量系数以提高效率。

跟着MEMS器件变得越来越紧凑,它们还需要具有高电流容量且紧凑物理尺寸的电感器。经由将所有电力电子组件集成到一个芯片中,能够知足这些需求——更高的集成度将降低成本,削减所需空间并提高功率密度。是以,电感器制造工艺需要与CMOS兼容才能集成。已报道的CMOS兼容MEMS制造手艺能够分为两类:片上电感器和片内电感器。为了制造片上电感器,概况微加工手艺已经成熟并获得普遍使用。片内电感器能够操纵未使用的基板体积,并省去基板外观上方的电感器高度,这使其更易于与CMOS器件集成。硅通孔手艺是制造片内电感器的最可行方式。

因为高纵横比蚀刻和电镀对于构建片内电感器至关主要,是以开发制造手艺仍然是一个挑战。我们的小组已经呈报了比来正在研究的硅嵌入式电感器的制造工艺和机能。

 

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针对功率MEMS器件而设计的高电感密度3D MEMS片内螺